La production de wafers est un processus très élaboré et complexe. Une plaquette est une fine tranche ronde de matériau semi-conducteur, tel que le silicium. Les composants électroniques et mécaniques sont produits sur ces plaquettes. Cela se fait par dopage. Dans ce processus, des impuretés, des atomes d'un autre matériau, sont introduits pour modifier les propriétés matérielles du silicium d'origine. Plusieurs techniques de dopage peuvent être utilisées. C'est ainsi que l'on obtient les wafers, dont la taille varie de 25,4 mm à 300 mm. Les plaquettes de moins de 200 mm présentent souvent des flats (le côté plat de la plaquette). Les plaquettes (modernes) (plus grandes que 200 mm) comportent des encoches, ce qui présente l'avantage de consommer moins de matériau que les plaquettes plates. L'orientation et le type de dopant d'une plaquette peuvent ensuite être déterminés à l'aide de ces plats ou encoches.
Moins de déchets dans la production de plaquettes
Les déchets de plaquettes entraînent des coûts élevés et se font au détriment de la productivité. Il est donc essentiel de déterminer l'orientation de la plaquette afin de pouvoir couper ou diviser autant de puces que possible à partir d'une plaquette.
Les capteurs de la série L-LAS-TB-AL de Sensor Instruments conviennent parfaitement à l'alignement des plaquettes. En scannant le côté et en faisant tourner la plaquette d'un ou plusieurs tours, le positionnement peut être déterminé. Cela permet de détecter les encoches ou les méplats présents et de déterminer clairement l'orientation et le type de dopant de la plaquette. Un autre avantage est que certains dommages sont détectés en même temps.
Le L-LAS-TB-F-6-100/100-AL est un rideau de soudure à fourche avec un point de mesure horizontal ou vertical de 6,4 mm sur 1 mm. Il est utilisé pour inspecter les plaquettes afin de détecter les méplats et les entailles avant la poursuite du traitement. Le pas de la fourche laser est de 100 x 100 mm, avec une précision de 2 µm. En outre, le rideau laser est équipé de 2 entrées numériques, de 2 sorties numériques, d'une sortie analogique et d'une interface RS232.
